半導(dǎo)體行業(yè)EHS體系認(rèn)證

在半導(dǎo)體制程工業(yè)中，芯片生產(chǎn)要經(jīng)歷幾百道工序，就會(huì)用到大量特殊氣體。大多數(shù)特殊氣體易燃、易爆、劇毒、腐蝕性氣體，為了安全輸送和使用這些危險(xiǎn)氣體，半導(dǎo)體廠將安裝電子特殊氣體系統(tǒng)，配備電子特殊氣體柜GC、氣體分配箱VMB、特殊氣體泄漏監(jiān)測(cè)報(bào)警器等特殊設(shè)備。

因特種氣體的特殊性，承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體，同時(shí)為保證半導(dǎo)體制程工藝中特種氣體的穩(wěn)定供氣和安全，應(yīng)具備多種功能，如柜內(nèi)氣體泄漏偵測(cè)報(bào)警、PLC面板控制、全自動(dòng)吹掃等，提高使用安全系數(shù)，有效的保護(hù)生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次，半導(dǎo)體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認(rèn)證。

S2的對(duì)象是半導(dǎo)體工藝設(shè)備，是環(huán)境、健康、安全標(biāo)準(zhǔn)，即EHS標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)涉及許多特殊氣體、化學(xué)品和電氣、游離和非游離輻射，如果處理不當(dāng)，下游用戶使用容易導(dǎo)致事故甚至災(zāi)難，因此設(shè)備制造商設(shè)備產(chǎn)品如電子氣柜，SEMIS2認(rèn)證極其重要。

從上述描述可以看出，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，需要安全和穩(wěn)定使用特殊氣體，普通氣瓶柜在材料和功能上都不能滿足要求，因此半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)配備具有SEMIS2認(rèn)證的電子特殊氣體柜。